Правительство Российской Федерации приступило к разработке стратегии по организации внутреннего производства химических соединений, играющих решающую роль в процессах синтеза интегральных схем (ИС). Данный шаг был продиктован последствиями санкционных ограничений, приведших к приостановке импорта данных материалов из зарубежных источников. В соответствии с утвержденным планом, завершение процесса локализации производства указанных компонентов запланировано к декабрю 2026 года.
Локализация производства материалов для ИС
Министерством промышленности и торговли Российской Федерации была запущена программа по освоению технологий производства материалов, необходимых для разработки и сборки интегральных схем и иных электронных устройств. На реализацию данного проекта было выделено около 4,8 млрд рублей. В числе химических соединений, производство которых планируется организовать на территории страны, выделяются следующие:
- Фторметан;
- Четырехфтористый особо чистый кремний;
- Высокочистый гексаметилдисилизан;
- Специализированные адгезионные композиции.
Актуальность разработки отечественных аналогов данных материалов обусловлена санкционными ограничениями, препятствующими доступу к иностранным поставкам. На текущий момент производственные мощности для синтеза вышеуказанных критических компонентов в стране отсутствуют.
Роль материалов в производстве ИС
Одним из ярких примеров важности осваиваемых материалов является разработка комбинированного материала для химико-механической полировки слоев. До введения санкций в Россию поступали полировальные подушки от американской компании Dow, которые применялись для обработки слоев при производстве кристаллов на пластинах диаметром 200 мм с технологическими нормами до 90 нанометров.
Другим значимым веществом является транс-1,2-дихлорэтилен, который широко применяется в микроэлектронной и полупроводниковой отраслях как источник хлора для окисления кремния и очистки трубопроводов. Согласно техническому заданию, необходимо разработать и внедрить современные технологии получения транс-1,2-дихлорэтилена с чистотой не ниже 8N, что соответствует требованиям производственных процессов в области электронной техники.
Разработанные образцы материалов будут переданы предприятиям-потребителям для проведения испытаний и оценки соответствия техническим характеристикам и пригодности для использования.
Создание новой производственной базы
После введения санкций и последующего прекращения поставок не только готовой электронной продукции, но и сырьевых компонентов для её производства, российские власти начали активные работы по созданию отечественных аналогов данной продукции. Так, в марте 2023 года Министерством промышленности и торговли было выделено более 2 млрд рублей на разработку и организацию производства химической продукции, необходимой для синтеза ИС. Один из проектов включал научно-исследовательскую работу по созданию и постановке на производство особо чистого гексафторида вольфрама, бромистого водорода и других реактивов.
В августе 2024 года министерством были размещены дополнительные тендеры на локализацию производства химических материалов, требующихся для выпуска электронных устройств и телекоммуникационных кабелей. Одновременно ведется работа по стандартизации требований для предприятий, занятых в производстве электронного оборудования, а также по разработке отечественного технологического оборудования для микроэлектронного сектора.